白光干涉零光程差位置的五步测量法

摘要

给出了采用5步法测量白光干涉中零光程差位置的理论推导。提出在测量中以双光束干涉条纹间距的1/4大小作为干涉光强空间采样间隔;以被测点附近5点测量数据作为一组基本数据来确定干涉条纹的局部调制度;采用重心法确定干涉条纹调制度的最大值位置,并以此作为零光程差位置。对不同干涉光强分布公式生成的模拟测量数据进行了理论分析;对光电测量系统中的机械精度与光电测量精度对测量结果的影响进行了定量计算。通过计算得到,本方法的最大零光程位置测量误差不超过1/4干涉光中心波长。