公开/公告号CN1295568C
专利类型发明授权
公开/公告日2007-01-17
原文格式PDF
申请/专利号CN02147039.1
申请日2002-06-25
分类号G03F7/42(20060101);H01L21/027(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人陈昕
地址 日本神奈川
入库时间 2022-08-23 08:58:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-01-17
授权
授权
2004-06-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-04-02
公开
公开
机译: 抗蚀剂剥离液,使用该抗蚀剂剥离液的方法,抗蚀剂剥离液再生装置以及抗蚀剂剥离液管理装置
机译: 水性抗蚀剂剥离液管理装置及水性抗蚀剂剥离液管理方法
机译: 水性抗蚀剂剥离液管理装置及水性抗蚀剂剥离液管理方法