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薄膜沉积源、沉积装置和使用该沉积装置的沉积方法

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摘要

公开了一种薄膜沉积源、一种沉积装置和一种使用该沉积装置的沉积方法。所述沉积装置包括：沉积源，该沉积源包括将沉积物质喷射在基板的表面上并被布置为沿第一方向的多个喷嘴；和至少一个快门，该至少一个快门通过打开或遮蔽所述沉积物质的喷射通道的至少一部分来控制所述沉积物质的喷射区域。

公开/公告号CN103849857B

专利类型发明专利
公开/公告日2017-12-01

原文格式PDF
申请/专利权人三星显示有限公司;
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申请/专利号CN201310516033.7
发明设计人李钟禹;
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申请日2013-10-28
分类号C23C16/455(20060101);C23C16/52(20060101);C23C14/22(20060101);C23C14/54(20060101);
代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人李文颖;周艳玲
地址韩国京畿道
入库时间 2022-08-23 10:03:39

1. 薄膜沉积源、沉积装置和使用该沉积装置的沉积方法 [P] . 中国专利： CN103849857B . 2017.12.01
2. 薄膜沉积装置以及使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法 [P] . 中国专利： CN103866237B . 2018.04.06
3. Thin film deposition device, the deposition method using the same, and the fabrication method of organic light emitting display device using the same [P] . 韩国专利： KR20150012587A . 2015-02-04

机译：薄膜沉积装置，使用该薄膜沉积装置的沉积方法以及使用该薄膜沉积装置的有机发光显示装置的制造方法
4. Thin film deposition source, deposition apparatus and deposition method using the same [P] . 美国专利： US9309588B2 . 2016-04-12

机译：薄膜沉积源，沉积设备以及使用该薄膜沉积源的沉积方法
5. Thin film deposition device the deposition method using the same and the fabrication method of organic light emitting display device using the same [P] . 韩国专利： KR102090712B1 . 2020-03-19

机译：薄膜沉积装置，使用该薄膜沉积装置的沉积方法以及使用该沉积方法的有机发光显示装置的制造方法