刷子单元以及具备该刷子单元的刷子研磨装置、刷子研磨系统以及刷子研磨方法

摘要

本发明的目的是提供刷子研磨装置，通过研磨刷子自转以及回旋移动的行星运动来研磨工件的被加工面，能够根据工件的性状以及加工目的容易设定研磨条件。研磨刷子具备自转以及公转的刷子单元。刷子单元分别具备用于进行研磨刷子的自转的自转驱动机构、和用于进行研磨刷子的公转的公转驱动机构。利用自转驱动机构调整自转速度从而能够提高研磨能力，利用公转驱动机构调整公转速度，从而能够均匀地研磨工件整体。