一种用于分析大尺寸试样组织的电子探针样品台

摘要

一种用于分析大尺寸试样组织的电子探针样品台，包括样品台基座，样品台基座其具体为一上、下表面均为长方形的水平基座，在该样品台基座的上表面的两侧各设置有呈相对且对称的试样插片台，而在样品台基座的底部设置有定位撑脚，试样插片台内设置有可调节高度的水平插片，将试样置于该水平插片上，电子探针再对试样进行组织分析。本实用新型可用于大尺寸试样的分析，且本实用新型采用凹槽+插片的调节方式，配合电子探针自身的能力，可分析不同高度的样品，装载速度快，空间利用率高，在同等样品台尺寸下可装载样品的最大高度更大；另外，本实用新型其凹槽深度的存在使得固定更为稳固，在高度方向的稳定性上明显高于现有技术的螺丝固定的方式。