高频电源装置的控制方法以及高频电源装置

摘要

在频率范围内，将输出指令值抑制为不超过高频放大器所容许的输出指令的上限。本发明的高频电源装置的控制方法以及高频电源装置在可变频率的频率范围内进行频率控制，并且在可变频率的频率范围内，通过输出极限值来限制用于控制高频放大器的输出的输出指令值的上限，由此，防止由过剩指令引起的高频放大器的损伤。