法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-28
授权
授权
2017-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):A61B18/12 申请日:20151225
实质审查的生效
2017-06-09
实质审查的生效 IPC(主分类):A61B 18/12 申请日:20151225
实质审查的生效
2017-05-17
公开
公开
2017-05-17
公开
公开
机译: 高频电源装置,尤其是等离子体电源装置和用于操作高频电源装置的方法
机译: 高频电源装置,尤其是等离子体电源装置和用于操作高频电源装置的方法
机译: 高频处理工具的电源装置,高频处理系统以及电源装置的控制方法