高频电源装置及高频电源装置的控制方法

摘要

在通过高频电源装置的扫频来进行阻抗匹配的频率控制中，确定反射系数或反射电力朝向极小的频率扫掠方向，由此缩短检测出反射系数或反射电力成为极小的频率为止所需的时间。通过以下两阶段的控制来进行高频电源装置的阻抗匹配的频率控制：(A)相位控制，基于振荡频率的相位状态来确定反射系数或反射电力朝向极小的频率扫掠方向，并以确定的扫掠方向来开始频率增减；(B)反射电力控制，以反射系数或反射量作为完成频率控制的控制的控制完毕条件。