加速度计及加速度计的温度自补偿方法

摘要

本发明实施例公开了加速度计及加速度计的温度自补偿方法，包括谐振器、静电力加载模块、敏感质量块、杠杆结构以及接口电路；静电力加载模块包含静电力调控模块、静电力加载装置以及开关；静电力加载装置位述敏感质量块的中心；敏感质量块与谐振器通过杠杆结构连接；谐振器包含谐振梁、驱动电极以及检测电极，驱动电极、检测电极与接口电路相连。本发明通过引入可调静电力并根据加速度计自身频率温度特性进行温度自补偿，无需外部温度敏感元件，可以克服温度场分布不确定以及热传导的时间延迟导致的温度测量不准确的问题，实现更高精度的温度补偿，从而使加速度计的输出加速度值更加准确。