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公开/公告号CN107851608A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-03-27
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201680044373.6
发明设计人 任河;梅裕尔·B·奈克;曹勇;程亚娜;叶伟锋;
申请日2016-06-28
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 04:55:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-05-29
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20160628
实质审查的生效
2018-03-27
公开
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