法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-11
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G01B11/00 申请公布日:20120704 申请日:20100506
发明专利申请公布后的视为撤回
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/00 申请日:20100506
实质审查的生效
2012-07-04
公开
公开
机译: 使用相同对准和误差测量夹具的平板扫描模块,平板扫描系统和平板扫描模块的平板扫描模块的对准误差测量方法
机译: 平床扫描模块,平床扫描系统,用于测量平床扫描模块的对准误差的夹具以及使用相同方法测量平床扫描模块的对准误差的方法
机译: 平床扫描模块,平床扫描系统,用于测量平床扫描模块的对准误差的夹具以及使用相同方法测量平床扫描模块的对准误差的方法