回收砂浆质量的判断方法

摘要

本发明涉及一种回收砂浆质量的判断方法。该方法，对砂浆的三项指标进行检测，对砂浆的三项指标进行检测，分别是砂浆中Sic的D50值、砂浆中Sic的圆度系数以及小于3.5μm的微粉的含量，要求砂浆中Sic的D50值的范围：10.1μm～10.9μm；砂浆中Sic的圆度系数的范围：0.912～0.930；小于3.5μm的微粉的含量：4.5％以下。如果该三项指标均在要求范围内，则判断砂浆质量合格。本发明的有益效果是：对于回收厂家通过处理得到的可直接用于硅片切割的回收砂浆的质量可以进行准确判断，有效控制回收砂浆的质量，避免在硅片切割中因砂浆因素导致出现质量异常，降低线痕、厚薄及TTV的不良的比例。使得因回收砂浆质量引起的硅片合格率波动值降低了2％～5％。