法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-03-25
发明专利申请公布后的驳回
发明专利申请公布后的驳回
2007-03-14
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-01-17
公开
公开
机译: 设置具有自适应等离子体源的等离子体室的方法,使用该等离子体室的等离子体蚀刻方法以及自适应等离子体源的制造方法
机译: 具有自适应等离子体源的等离子体腔的设置方法,使用相同等离子体的等离子体刻蚀方法和自适应等离子体源的制造方法
机译: 具有自适应等离子体源的等离子体腔的设置方法,使用相同等离子体的等离子体刻蚀方法和自适应等离子体源的制造方法