具有吸气材料的沉积物和集成加热器的微型机械或微型光电子器件及生产该器件的支架

摘要

本发明披露了一种微型机械器件(10；20)或微型光电子器件(30)，包括吸气材料的沉积物(17；25；35)，用于吸收对于所述器件的操作是有害的气体，以及集成系统(18，18′19，19′)，用于在器件的寿命期间在需要时从外部加热吸气材料。还披露了用于制造这些器件的支架的不同的实施例。