法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-06
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G05B19/042 申请公布日:20140507 申请日:20140128
发明专利申请公布后的驳回
2014-06-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B19/042 申请日:20140128
实质审查的生效
2014-05-07
公开
公开
机译: 基于微机械加工的压电三轴陀螺仪和基于堆叠式横向重叠换能器(槽)的三轴加速度计
机译: 基于微机械的压电三轴陀螺仪和基于叠层的横向重叠传感器(槽)的三轴加速度计
机译: 基于微机械的压电三轴陀螺仪和基于叠层的横向重叠传感器(槽)的三轴加速度计