机译:一种用于适体传感器的提高薄SU-8微悬臂梁制造成品率的协议
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机译:通过改进的SU-8模板剥离方法制造超光滑互补开口环谐振器
机译:使用常见的薄负性光刻胶作为粘合层在玻璃基板上制造SU-8模具
机译:量身定制SU-8 /粘土纳米复合材料的机械性能:聚合物微悬臂梁的制造前景
机译:改进压阻式微电子梁进行气体检测和传感的制造和建模
机译:SU-8微悬臂带有孔流体通道以及用于生物学和其他应用的传感机制
机译:用于微结构制造的sU-8层的丝网印刷/ arsietspiediUzklātusU-8pārklājumimikro-struktūruIzgatavošanai