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机译:XeF_2气体辅助聚焦电子束诱导的30 nm分辨率的GaAs蚀刻
机译:XeF_2气体辅助聚焦电子束诱导的30 nm分辨率的GaAs蚀刻
机译:XeF_2环境中的硅蚀刻
机译:使用XeF_2增强聚焦离子束刻蚀制造的叉指式50 nm Ti电极阵列
机译:使用紫外线曝光控制XeF_2蚀刻的掩模材料的蚀刻速率
机译:通过电子束光刻以低于30 nm的分辨率图案化生物分子
机译:MBE在GaAs上生长的应变GaAsSb / GaAs QW结构的光致发光和能带排列
机译:使用化学气体辅助聚焦离子束的亚波长光栅光子应用增强了钙钛矿杂化钙钛矿的蚀刻,表面损伤恢复和亚微米图案化
机译:通过气体辅助聚焦离子束快速进行高纵横比,高分辨率X射线掩模的原型设计