超音波微小液体流量計「μLF-100」：＜超音波流量計では今まで困難だった、液体の微小流量計測が可能に＞

摘要

近年の半導体、LCDなどの製造分野では、プロセスの微細化や、製造コスト低減、環境問題対策等のために、薬液をごく微小量で使用することが多くなり、それらの流量をより正確に管理する要求が高まっている。 しかしながら、流量測定レンジ、クリーン度、コスト面などで要求を満たす流量計が今までは無く、製造現場においてはポンプの回転数やバルブの開閉時間、配管内流体の圧力管理など、間接的な方法で流量管理が行われていた。 これらの方法では、配管の詰まりなどによる流量変化を検出することが出来ないため、適正な流量が流れていなかったり、ひどい場合には全く流れていないなどの問題が生じていた。