紫外·可視反射分光法による表面薄膜解析

摘要

最近のシンクロトロン放射光を用いた分光電気化学測定法や各種の走査プローブ顕微鏡の進歩により，紫外·可視光の反射を利用した分光電気化学測定法の表面敏感な特徴は，腐食防食の分野ではあまり強調されなくなってきている。 しかし，本稿で述べたように，マルチチャンネル分光エリプソメータの開発によってエリプソメトリーは表面薄膜の厚さ，化学組成，ミクロおよび層構造のreal-time解析技術としての新たなる発展を遂げつつある。 マルチチャンネル検出器を用いるとDR法およびPMR法による反射率測定も高速化することができる。 これらの高速化されたreal－time測定技術は不働態皮膜などの腐食関連皮膜のin-situ解析にも応用可能であり，この分野でも新たな発展が期待される。