摘要：研究了不同模式下设定值对成像质量,测量准确度,样品及探针磨损情况的影响.结果表明:接触模式下弯曲量设定越大,探针与样品相互作用力越大,噪声减小,成像质量提高,但是会对样品和探针造成较大磨损,降低测试测量准确度,一般表面起伏较大的硬样品适合此模式,弯曲量设定为2V左右,随表面起伏减小而减小;轻敲模式下进针会有一个振幅设定,由此值开始,随着振幅设定减小,测量准确度和探针磨损程度先增加后减小,需根据样品选择合适的振幅设定,一般比进针设定小29～50mv即可,应该避开自由振幅一半数值的位置,轻敲模式噪声和磨损都不大,适合于表面比较平滑的非粘性样品;智能模式参数可自动调节,且对样品和探针的磨损很小,可以使用偏大一些的峰值力设置,一般为2～3V,但是智能模式噪音影响较大,测量数据较小时准确度偏低.
