机译:用于高通量无掩模电子束光刻的多轴和多束技术
Development department, PARAM Corporation, Product Development Support Laboratory No. 2, Tama Techno Plaza, Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, 3-6-1 Azuma-Cho, Akishima-Shi, Tokyo 196-0033, Japan;
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机译:LBL纳米复合薄膜的直接写入无掩模光刻及其对MEMS技术的前景
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机译:无掩模光刻和非传统图案的创新技术