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机译:字符重叠的电子束光刻行结构模板规划方法
Chinese Univ Hong Kong, Dept Comp Sci & Engn, Hong Kong, Hong Kong, Peoples R China;
Chinese Univ Hong Kong, Dept Comp Sci & Engn, Hong Kong, Hong Kong, Peoples R China;
E-beam lithography; Character projection; Stencil planning; Design for manufacturability; The MCC system;
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