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李以贵; 黄远; 颜平; 王欢; 杉山进;
上海应用技术大学理学院,上海201418;
立命馆大学微系统系,京都525-8577日本;
微流控分析系统; 膜片式压电微泵; 锆钛酸铅(PZT); 单向微阀; 逆压电效应; 驱动仿真; 微加工工艺;
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机译:以PZT为压电材料的膜片式振子的超声波收发特性分析
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机译:具有PZT薄膜的压电微泵,用于低功耗微流控设备
机译:高取向pZT单晶粒组成1-3层复合板的制备及压电性能
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