公开/公告号CN106104826B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-09-14
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱综合材料株式会社;
申请/专利号CN201580015871.3
申请日2015-03-27
分类号H01L41/318(20060101);C04B35/491(20060101);H01B3/12(20060101);H01L41/187(20060101);
代理机构11018 北京德琦知识产权代理有限公司;
代理人康泉;王珍仙
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 10:16:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-14
授权
授权
2016-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L41/318 申请日:20150327
实质审查的生效
2016-12-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/318 申请日:20150327
实质审查的生效
2016-11-09
公开
公开
2016-11-09
公开
公开
机译: Mn PZT Mn PZT MN掺杂的PZT压电薄膜形成成分和MN掺杂的PZT压电薄膜组成
机译: MN掺杂的基于PZT的压电薄膜形成组合物和MN掺杂的基于PZT的压电薄膜
机译: MN掺杂的基于PZT的压电薄膜形成组合物和MN掺杂的基于PZT的压电薄膜