双通道声表面波（SAW）力传感器的研究

摘要

本文讨论了SAW力传感器的基本工作原理。导出了SAW力传感器的测量方程,并对SAW力传感器进行了实验研究。该实验采用双通道结构,从而实现了传感器的自动温度补偿。传感器所用的敏感换能元件是SAWR(SAW谐振器),其标称谐振频率为213MHz。实验表明SAW力传感器的输出频率与待测力之间具有确定的线性关系,该传感器在—21～+25℃温度范围内具有良好的温度稳定性。