声表面波元件、声表面波设备、声表面波双工器和声表面波元件制造方法

摘要

一个声表面波元件12包括一个由压电衬底上形成的单晶体铝组成的薄膜电极。由单晶体铝所组成的薄膜电极18中可分离出Cu，Ta，W和Ti等金属中的至少一种。在这个声表面波元件12中，Cu或类似的发生在薄膜电极18中。这样的分离有效g地减少在倒装片安装的超声波连接过程中压电衬底28上裂纹的出现。就是说，由于压电衬底28上裂纹的出现被减少，所以有利地提高了声表面波元件12中经受超声波振动的容许度。