反射式椭偏测试系统的全局优化算法

摘要

首先针对可变入射角的反射法消光椭偏测试系统,讨论其计算公式和求解思路,建立了全局目标优化函数,提出一种网格优化算法,即计算中可半智能跟踪最优解的方法.利用新算法解决了求解中的多峰问题,从而可以高精度计算薄膜的折射率与厚度.开发了相关软件,处理进口椭偏仪测量的消光参数,获得了大入射角条件下SiO2薄膜的折射率和厚度,并与其它方法的计算结果进行对比分析,发现此方法计算结果可以达到更高的精度,有利于指导微米到纳米级复杂结构和成分的薄膜光波导的性能分析.最后通过对较小入射角实测数据的分析,指出了传统理论模型在光斑干涉效应及衍射效应方面的不足.