C—H—Cl气相体系生长金刚石的相图计算

摘要

用非平衡热力学耦合模型计算得到了Ｃ－Ｈ－Ｃｌ气相体系生长金刚石的相图，并与报道的实验结果符合很好，比起Ｃ－Ｈ体系金刚石的相图，该相图中的金刚石生长区明显转移向低温方向，说明加入氯有利于降低金刚石的生长温度，通过化学反应机理的分析探讨了加入氯对金刚石生长温度和生长速率的影响。