C-H-N体系气相淀积金刚石簿膜的非平衡定态相图

摘要

根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图，与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合，可以为今后的实验研究提供定量他的理论依据。还讨论了激活温度、系统压力和体系中氮原子含量对金刚石薄膜淀积条件的影响。