氧注入砷化镓的射程分布与能量淀积分布

摘要

文章用Brice的理论对O^+注入GaAs进行了计算和讨论。计算给出了氧离子注入GaAs的射程分布与能量淀积分布;计算中发现在x为小值处的能量淀积分布值偏高的原因应是多方面的;文章并从Markov过程的观点对Brice的P(E,E′,R)方程的推导进行了讨论。