离子注入和退火对LTPS-TFT特性的影响

摘要

近年来,随着我国社会经济的快速发展,导致科学技术水平得到了不断进步,同时人们的日常需求也越来越高。目前,消费者对于显示器画质以及分辨率的要求越来越高,许多OLED显示器生产者越来越注重提高清晰度、功耗、薄厚程度以及轻重程度等方面的研究,同时其应用领域包含高清晰的大型视频家电以及便携式的移动设备等。而其相关技术的发展路径包含色彩还原度的提高以及屏幕分辨率的提高,并将纸张等传统媒介替换为平板显示,从而使人们的日常生活与工作无纸化,而以上方式的实现都需要AMOLED显示技术以及柔性显示技术的快速发展。本文研究了离子注入和退火对LTPS-TFT特性的影响。