功率管台面钝化工艺的改进—PECVD氮化硅钝化技术在功率管中的…

摘要

本文简述了低频大功率晶体管的传统钝化方式,讨论了PECVD氮化硅钝化的原理、工艺及其在功率管台面钝化中的应用。