混合集成光学加速度计的信号处理和总体灵敏度

摘要

混合集成光学加速度计是一种实用型的实时加速度传感器,在信号处理过程中采用了光相位调制和交流相位跟踪零差补偿技术(PTAC).综合考虑光路和电路部分进行系统设计,以使系统总体灵敏度为4.7V/g.实际测量时系统可以实时、线性地跟踪到加速度信号,并且系统的总体灵敏度可以达到4.59V/g.混合集成光学加速度计已经达到了实用的要求.