机译:一种基于Mach-Zehnder干涉仪的新型三组件混合集成光学加速度计,具有LINBO3光弹性波导
机译:基于Mach-Zehnder干涉仪和LiNbO3光弹波导的新型三分量混合集成光学加速度计
机译:基于LiNbO3光弹波导的三分量混合集成光学加速度计
机译:混合集成光学加速度计
机译:使用通过溶胶-凝胶技术制备的有机-无机杂化材料制成的集成光学组件。
机译:具有纳米场发射尖端的新型混合集成高精度真空微电子加速度计
机译:具有纳米场发射尖端的新型,混合集成,高精度真空微电子加速度计
机译:高温,高可靠性集成混合封装用于辐射硬化航天器微机械隧道加速度计