用三氯氧磷作硅中磷扩散

摘要

本文介绍了以POCl3为材料源作硅中磷扩散的系统研究工作。特别是确定了实现仅受磷在硅中溶解度限制的扩散在POCl3-O2-N2系统中所需的炉况条件。在800～1200℃温度范围内所需的POCl2蒸气压的最小浓度约为0.35%。在高温下氧浓度没有临界值,然而,低于1000℃时对于给定的POCl3浓度,它就逐渐变成为临界的了。