一种晶体硅太阳能电池扩散工艺中三氯氧磷的供给装置

摘要

本实用新型公开了一种晶体硅太阳电池扩散工艺中三氯氧磷的供给装置，其包括有充足三氯氧磷的新扩散源瓶、剩余有少量不能直接供给三氯氧磷的旧扩散源瓶和两个恒温装置；小流量氮气供给系统的氮气出口通过氮气进管连接旧扩散源瓶的进气管，旧扩散源瓶的出气管通过进气管和双向阀气管接头连接新扩散源瓶的进气管，新扩散源瓶的出气管通过进气管连接扩散炉的三氯氧磷的进气口。本实用新型能使剩余有少量不能直接供给三氯氧磷的扩散源瓶内的三氯氧磷用尽，避免了三氯氧磷的浪费，提高了三氯氧磷的利用率，节省了生产成本；消除了剩余有少量三氯氧磷扩散源瓶在储存过程中存在的危险。