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用锌靶反应性射频溅射氧化锌薄膜的特性

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用锌靶反应性射频溅射制成了氧化锌薄膜.研究了不同的电阻率及沉积速率与溅射气氛中各种氧分压的关系.为了探索沉积薄膜的结晶性与沉积参数的关系,进行了透射电子衍射的研究.

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来源
《压电与声光》 |1985年第5期|76-8075|共5页
作者
K.B.Sundaram; 张传忠;
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作者单位

加·麦克马斯特大学工程物理系;

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