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陈瑞; 边旭明; 范佰杰; 李丽; 何春河; 范子坤;
中国力学学会;
中国声学学会;
中国宇航学会;
中国电子元器件行业协会;
射频磁控溅射; 氧化锌薄膜; 金刚石基片; 声表面波; 叉指换能器;
机译:脉冲激光沉积LiNbO_3薄膜在金刚石上的氧压力依赖性生长,用于声表面波装置
机译:基于声表面波在多晶AlN薄膜上生长的掺Ga氧化锌薄膜的湿度传感特性
机译:碳化硅上氧化锌薄膜声表面波传播特性的实验和理论表征
机译:使用最小晶圆工艺在单晶金刚石上制造声表面波谐振器
机译:氮化硅和硬质碳化钨工具上的微波辅助CVD金刚石涂层的分析和实验研究以及几种过渡金属上多晶金刚石的生长
机译:使用微流体声表面波生物传感器实时监测碳酸钙和阳离子肽在羧酸盐-SAM上的沉积
机译:LiNbO3薄膜在蓝宝石和金刚石基底上的取向可控沉积,用于声表面波装置
机译:非金刚石基底上的金刚石的假形稳定化:在c-BN(111)表面上的异质外延生长的金刚石。
机译:在蓝宝石衬底上具有钽酸锂的声表面波装置和使用该声表面波装置的滤波器
机译:具有两个不同切角的压电基片的声表面波装置
机译:具有低表面损耗的声表面波装置,由压电基片,电极组件组成,并涂有一层介电材料
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