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氧化锌压电薄膜电阻率的测量方法

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用简单的两端法测量了高阻ZnO压电薄膜的体积电阻Rv,并计算电阻率ρv从样品的R-V曲线中得到合适的测量电压,并以脉冲信号代替传统的直流测量,避免了焦耳热,提高了测量精度,误差小于100×10-2.本方法也适用于测量电阻小于10~8Ω的其它薄膜样品.

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来源
《压电与声光》 |1985年第5期|40-46|共7页
作者
朱洪兴; 张晖;
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作者单位

四川压电与声光技术研究所;

四川压电与声光技术研究所;

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