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廖轰; 马世月; 郑慧臻; 王科平;
天津大学微电子学院 天津300072;
MEMS振荡器温度补偿; CMOS温度传感器; 文氏电桥; 相位域delta-sigma调制器;
机译:压阻温度传感器由表面微机械加工CMOS MEMS工艺制造
机译:用于气体传感的CMOS-MEMS谐振器中嵌入式微加热器和温度传感器的特性
机译:基于电阻的温度传感器,用于MEMS频率基准
机译:温度补偿的CMOS和MEMS-CMOS振荡器,用于时钟发生器和频率基准。
机译:迈向CMOS-MEMS技术中用于非冷却红外传感的超灵敏温度传感器
机译:一种6.4 NW 1.7%相对不准确的CMOS温度传感器利用子 - 热漏极电压稳定和频率锁定环
机译:将集成mEms / CmOs技术应用于惯性测量单元的关键问题
机译:MEMS --CMOS一种在微电子机械系统中集成互补金属氧化物半导体氧化物CMOS器件的方法在牺牲层之上使用平整表面的MEMS器件
机译:一种通过首先将CMOS晶片与MEMS晶片混合键合来制造MEMS装置的方法
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