压电陶瓷驱动并联微动机器人的研究

摘要

介绍了集精密机械技术，精密测试技术和智能反馈技术于一体的压电陶瓷驱动六自由度并联微机机器人。该微动机器人采用以压电陶瓷为驱动元件和弹性支撑并联机器人的结构形式，具有高频响、高分辨率，结构紧凑，铡度大等优点，实现了机构，驱动、检测一体化，达到纳米级定位精度，是微驱动技术与并联机器人交叉结合的成功尝试。