准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究

摘要

用紫外波长为λ=248nm的准分子激光器,分辨率为50nm的精密微动工作台及其控制器,在一定的工艺参数下,对Al2O3陶瓷、不锈钢等材料表面分别进行准分子激光加工,构建准分子激光加工表面微观形貌.对加工表面的几何形貌分别采用扫描电子显微镜(SEM)、表面形貌仪进行测量,并通过对SEM图像的3维数字化处理,得出表面3维形貌图.同时用MatLab处理表面形貌仪的测量数据和计算表面形貌统计参数.