东南大学MEMS教育部重点实验室

摘要

东南大学1983年开始了集成传感器的研究，并于1985年在德国召开的欧洲固态电子器件会议“ESSDERC 85”上报道了集成MOS流量传感器的研究结果；1986年开始了硅片直接键合技术研究，并于1987年在《Applied Surface Science》（30（2），397，1987）报道了硅键合材料的测试结果。