光伏法研究掺金硅特性

摘要

本文采用光伏方法测量掺金硅的少子寿命，掺金浓度为１０＾１２￣６．６２×１０＾１５ｃｍ＾－３，４个数量级。根据对两类不同电阻率的Ｎ型掺金硅少子寿命系统的测量和统计计算，提出了对硅中金性质的看法。统计计算及简并因子和金施主与金受主的相关性。实验和计算结果都表明，高浓度高掺杂可以改变Ｎ型高阻硅的导电类型。