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功能成品率估算的缺陷特征参数提取方法

         

摘要

基于微电子测试双桥结构,本文给出了缺陷特征参数提取方法.这些特征参数包含了缺陷在硅片上的空间分布和粒径(直径)分布,它们对集成电路功能成品率仿真是重要的.

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