押付力発生機構を有する小型超音波モータの開発（第二報)－トルク特性の検証および共振周波数測定手法の検討

摘要

超音波モータとは，超音波領域の高周波振動によって発生する摩擦力を駆動源とする圧電アクチュエータである.摩擦によって駆動する超音波モータでは，回転子と振動子の接触状態は性能に影響を与える重要な要素である.そのため適切な圧力により回転子を振動子に押し付ける構造が必要であるが，小型超音波モータは寸法や構造の制約を受けるため実装方法がモータ性能に大きな影響を与える.例えば，市原らの製作した薄型マイクロ超音波モータは機構と圧電素子を一体構造とすることで薄型軽量化と高トルク化の両立を図っている.