光コムパルス干渉計を用いた三次元測定機の高精度検査手法（第2報）－光コムプローブによる三次元測定機の検査

摘要

本研究では，光周波数コムを用いて三次元測定機を検査する手法を確立することを考える．光周波数コムは超短パルスレーザであり，非常に高い周波数安定性をもつ．更に光コムは現在長さの国家基準となっているため，これを用いた長さ計測ではトレーサビリティを直接確保できる．よって本研究は，光コムを用いたパルス干渉計によって，高精度に三次元測定機を検査する手法を確立することを目的とする．