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司立坤; 马建伟; 贾振元; 刘鑫; 王瑞利;
大连理工大学 机械工程实验教学中心, 辽宁 大连 116024;
中车大连机车车辆有限公司, 辽宁 大连 116000;
激光干涉仪; 光束准直; 测量;
机译:包括三个激光干涉仪和一个自动准直仪的多探针扫描系统,用于以纳米精度测量扁条镜轮廓
机译:使用激光干涉仪动态校准机床和坐标测量机的定位精度
机译:自跟踪激光干涉仪消除了机床误差:绝对的体积精度
机译:包括三个激光干涉仪和一个自动准直仪的多探针系统,用于在高精度微坐标测量机上以纳米精度测量扁条镜轮廓
机译:一种新的CNC机床运动通过平行集成纳米精密线性尺度的动态CNC机床运动精度分析方法
机译:基于同时激光多移机的机床容积验证的高精度伸缩仪开发
机译:基于激光干涉仪的机床精度测量系统分析加工中心的定位精度
机译:具有亚埃精度的位移测量激光外差干涉仪
机译:用于微光刻投射照明系统的调节装置,具有自动准直单元,该准直单元具有大于指定值的调节精度,其中准直单元设有光源和反射器。
机译:校准系统使用激光干涉仪评估机床运动学的精度
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