超短パルスレーザによるガラスの内部改質層形成のための数値シミュレーション

摘要

超短パルスレーザを用いたレーザ微細加工はメカニカルな加工の困難なガラスのような脆性材料に適用可能である.表面微細加工のみならず，光学機能を持たせた機能性ガラス，例えば，透明固体の内部に異質層を形成し，光ファイバーなどの機能を持たせることが考えられる.本研究ではその場観察の不可能な超短パルスレーザによるレーザ加工を効率的かつ高精度におこなうために，数値解析の援用を前提とした解析手法を確立し，最適な加工条件を算定することを目的としている.本解析手法の確立により，例えば，観察できない不透明な脆性固体内部の改質層形成領域を定量評価できる可能性がある.