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基于同轴光显微条件下微观表面法向偏角分布评价精密加工表面粗糙度

摘要

提出了在同轴光显微条件下微观表面法向偏角评价精密加工表面粗糙度的方法.根据加工表面微元面法向偏角分布机理,采用同轴光显微条件下微观表面法向偏角算法研究了加工表面粗糙度与法向偏角分布之间的关系,论证了微观表面法向偏角分布越集中,加工表面越光滑的理论.对比实验结果表明,基于同轴光显微条件下微观表面法向偏角分布评价精密加工表面粗糙度的方法是可行性.

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